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Imagen


 
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  Título original:    
  PROFANACION  
  Título:  
  PROFANACION  
  Signatura:  
  FO028263  
  Fecha de
producción: 
 
  01/01/2007  
  Resumen:  
 

Esta imagen SEM (Scanning Electron Microscope) muestra uno de los pasos a seguir cuando, en un chip con tecnología multicapa (se trata de una tecnología que emplea seis capas de metales), se pretende editar una pista de metal enterrada. El primer paso consiste en nivelar la topografía de la muestra. De esta forma se consigue una superficie más lisa y homogénea que posibilita poder seguir el proceso. En este caso, el chip presenta irregularidades en la superficie, se trata de una pista de metal dummy situada en el sexto nivel de metales. Para editar el chip electrónico se ha nivelado la superficie del chip arrancando las prominencias dummy (la sexta capa de metal) por sputtering mediante el haz iónico de un FIB (Focused Ion Beam). La imagen (longitud horizontal de 22 _m) presenta el inicio del proceso donde se ha empezado a actuar sobre tres elevaciones.

 
  Colección:  
  FOTCIENCIA CSIC-FECYT  
  País de
producción:  
 
  España  
  Observaciones:  
 

Pertenece a la edición FOTCIENCIA07, Certamen Nacional de Fotografía Científica. Sección MICRO. Obra seleccionada.

 
  Autores:  
  Llobet Sixto, Jordi
 
  Autores:  
  Borrisé Nogué, Xavier
 
  Autores:  
  Sabadell Melado, Justo
 
 


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